山东联盛电子设备有限公司，成立于2014年5月，坐落于聊城市高唐经济开发区，是集半导体芯片湿制程专业的设备的生产、研发、销售、服务于一体的高新技术企业。公司已经和山东大学微电子学院清洗技术中心加强产学研合作，共同深度研发清洗技术。公司目前已申请国家专利30多项，其中发明专利6项，并建立了省级企业技术中心，省级高新技术企业，市级半导体设备研发中心，申请通过ISO9001质量体系认证，ISO14001质量环境体系认证，半导体SEMI-S2专业认证。涉及行业有半导体IC，MOS功率器件，MEMS, SOI, GaAs, GPP，SIC，CaN芯片，LED，光伏，半导体陶瓷基片，半导体玻璃基片等行业 。主要设备有：全自动RCA清洗机、全自动镀镍镀金清洗机、全自动扩散清洗机（磷扩，硼扩）、全自动沟槽蚀刻机、全自动二氧化硅蚀刻、炉管清洗机、CDS(SDS)系统，B Clean、Oxide Remove、 Nitride Remove、 PR Strip、lift off、 ParticleRemove、 Solvent Clean、Wafer Reclaim、 Metal Etch、M2 Clean。