公司简介

三英精控（天津）仪器设备有限公司是一家专注于超精密运动控制技术和产品的开发，并致力于为开发科学研究仪器及高端装备制造提供精密运动控制技术的解决方案与系统集成，满足市场对超精密运动控制技术与产品需求的专业制造商。

三英精控(天津)仪器设备有限公司在纳米运动控制技术方面具有国际领先的技术和经验，并具有完全的自主知识产权。公司核心技术集精密传感、精密驱动、精密机械、精密控制、精密测量及精密集成等技术于一体，产品的综合指标已达到国际先进水平。公司产品涵盖大行程高精度运动平台、纳米和亚纳米运动控制平台、纳米位移电容传感器、精密运动控制集成系统等系列产品。

三英精控半导体装备精控运动控制解决方案：

半导体仪器和设备供应商面临重大挑战。所需的运动控制系统需要满足纳米级精度及稳定性、可靠性等严苛技术要求。在半导体光学检测中，在大尺寸重负载的条件下要满足纳米定位精度，同时满足高速和超高重复定位精度是至关重要的。

核心技术：1）纳米运动控制技术：自主可控的精密运动控制核心技术体系，包含精密传感、精密驱动、精密机械、精密控制、精密测量精密集成，并参与制订两项国家标准。2）大行程高精度气浮平台技术：高动态响应，纳米级气膜稳定性及平稳度。3）宏微结合运动控制技术：丰富的宏动微动项目经验，从设计到集成制造环节的技术和相应的检测手段及验证方法。典型应用：光刻设备、晶圆键合装备、晶圆检测装备、纳米压印装备三英精控（天津）仪器设备有限公司以丰富的半导体行业宏微结合系统，从设计到制造的经验，在符合半导体行业洁净标准的流程和环境控制下，能够制造及集成高精密半导体装备。

地址：天津市武清开发区创业总部基地C21号楼

网址：www.symc-tec.com电话：022-22977677 销售直线：022-29516025

推荐产品

纳米定位平台

纳米运动控制技术是由光、机、电、控制软件等多领域技术集成的运动控制技术。内部由一个或多个压电陶瓷作为驱动，其产生单轴或者多轴的运动；通过柔性铰链技术将压电陶瓷产生的运动传递和放大；经超精密电容传感器将运动信息传递给控制系统，再由控制系统对该运动进行修正、补偿和控制；在对运动系统进行闭环控制时，可实现纳米、亚纳米级别的运动分辨率和运动控制精度。

1.1 纳米运动控制平台系统构成图1.2 纳米平台实时运动

高速偏摆镜

高速偏摆镜采用压电陶瓷驱动，内部使用无回差柔性铰链并联导向结构，采用有限元分析优化柔性铰链结构，紧凑的差分并联结构柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点。高速偏摆镜内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，确保了高速偏摆镜具有极佳的运动控制精度，定位精度，分辨率和稳定性可以达到纳弧量级，紧凑型设计，可以更好的集成于光学系统。

纳米位移电容传感器

●量程范围:20μm-1200μm●分辨率：0.007nm-0.05nm@1Hz(静态) 0.22nm-1.58nm@1kHz(动态)●线性度:0.06%-0.1% · 温漂:<100nm/℃ · 带宽(Hz):1~10K

在半导体行业中，测量的精度和重复性至关重要。三英精控的纳米位移电容传感器可为半导体领域的定位、位移测量和厚度测量提供一系列解决方案。

气浮运动平台

精密Z型调整平台

说明：ZTTR5023 精密Z型调整平台负载5Kg，台面为真空吸盘，可吸附4~12寸晶圆，共包括Z和θxθyθz4轴空间调节。

龙门二维气浮平台

主要功能：采用气浮导轨导向，直线电机驱动，精密光栅尺闭环控制，重复定位精度高，俯仰偏摆角度小。应用场景：精密加工、精密测量、微电子制造、半导体加工。

应用领域

应用案例

大平面（1100mmx1300mm）原子力显微镜检测系统，实际系统稳定性0.2nm。

定梁龙门，双驱龙门定制系统。适用于液晶面板检测，AOI检测，激光加工，AFM、白光干涉仪等应用。

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